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磁控感应蒸发镀膜生产线
1． 用中频感应蒸发和直流（脉冲）磁控两种镀膜方式的 有机结合，可在平板塑料，玻璃，陶瓷，等材质上镀制金属单质膜
2． 中频感应蒸发源的蒸发速率大，均匀性好能长期连续蒸发工 作。
3． 磁控靶采用了新型的磁场结构设计。如非平衡磁场结构，将等 离子体推向被镀工件表面，极大提高了所镀膜层的附着力。
4． 生产效率较单室（炉）要高，且镀膜工件的 厚度和方阻可控可调。
采用计算机（触摸屏）PLC系统对整个系统的重要工艺参数进行动态控制和显示，报警和打印膜厚测控等。
磁控感应蒸发镀膜生产线
